在中国台湾地区，信越化学工业的感光材料新工厂已经投产。与增强日本国内工厂产能的投资合计计算，设备投资额达到约300亿日元。还将生产此前只在日本国内生产的极紫外感光材料。昭和电工的子公司昭和电工材料（原日立化成）也将在2023年之前投资200亿日元，在韩国和台湾地区增强硅晶圆研磨材料和布线底板材料的产能。