自上世纪50年代半导体科技崛起,人们开始考虑硅烷的特长,硅烷开始在电子工业中得到应用。进入80年代,硅烷的应用情况发生了重大变化。随着一系列新技术的出现或者说利用硅烷开发新产品的成功,硅烷用量急剧增加。每年数以千吨计的硅烷在工厂里被加工成超纯半导体硅,数以百吨计的气体被用于制造各种各样的新材料和新器件。考虑到在这些应用中大多数器件每个所耗用的气体量只有毫克甚至微克,由硅烷制成的薄膜厚度都是微米数量级,可见上述硅烷量不是一个小的数字。进入90年代,更大量的新功能器件问世,其中已大规模开发的有超高速、超大容量计算机芯片、高清晰度平面显示器、高效率低成本太阳能电池、高性能陶瓷发动机零件、各种特异功能的传感器等等,更多更新的器件还在涌现,这些器件都要用到硅烷。
硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业,用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃(865, -4.00, -0.46%)和钢铁镀层,并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现,包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成为许多新技术、新材料、新器件的基础。目前硅烷的发展方向和应用在哪里呢?定于2015年11月26-27日召开的“2015中国(衢州)国际氟硅产业峰会暨第八届氟化工产业发展高峰论坛”将邀请浙江中宁硅业有限公司陈德伟总经理,与行业内相关一起来分析探讨关于硅烷新产品的开发和市场应用。
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